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Epitaxie
Als Epitaxie wird ein geordnetes Kristallwachstum bezeichnet (aus dem Griechischen; „Epi“ heißt „gleich“ und „Taxis“ „in militärisch geordneter Weise“). Die von einem einkristallinen Substrat vorgegebene atomare Ordnung wird auf eine wachsende Schicht übertragen.
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