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Hafniumoxid
Hafniumdioxid ist eine chemische Verbindung die in der Halbleiterproduktion als High-k-Dielektrikum oder als Vergütungs- oder Spiegelmaterial in der optischen Industrie eingesetzt wird. Es besitzt eine hohe Härte, eine geringe Wärmeausdehnung und ist chemisch Zirkondioxid (ZrO2) sehr ähnlich.
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