Enzyklopädie > I > Ionengetterpumpe
Ionengetterpumpe
Die Ionengetterpumpe, auch Ionenzerstäuberpumpe genannt, ist eine Sonderform der Sorptionspumpe, bei der die Restgaspartikel (Atome oder Moleküle) durch Elektronenstoß ionisiert werden und durch ein elektrisches Feld auf eine Oberfläche beschleunigt werden; sie können dort chemisch gebunden oder implantiert werden und sind damit dem Restgas entzogen. Beim Auftreffen der Ionen auf die Oberfläche werden Elektronen freigesetzt, diese können weitere Restagaspartikel ionisieren.
Mehr Informationen (Wikipedia)
Die Informationen wurden von Wikipedia übernommen, einer offenen Enzyklopädie in welche Freiwillige ihre Beiträge beisteuern.
Die Texte sind unter den Bedingungen der GNU Free Documentation License zugänglich.Encyklopedie (cz) Encyklopédia (sk) Encyclopedia (en)