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Magnetronzerstäubung
Während bei der einfachen Kathodenzerstäubung (s. Sputtern) lediglich ein elektrisches Feld angelegt wird, zwingt bei der Magnetronzerstäubung ein zusätzliches magnetisches Feld die aus dem Target (Kathode) herausgelösten Sekundärelektronen durch die Lorentzkraft auf Zykloidenbahnen.
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